下载一种基于机电协同作用的高通量微纳器件及其制备方法与应用的技术资料

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本发明涉及一种基于机电协同作用的高通量微纳器件及其制备方法与应用;具体公开了一种具有微纳结构和电极结构的流体控制装置,其具有纳通道阵列和微通道阵列,所述微通道阵列包括入口微通道阵列和出口微通道阵列;所述入口微通道阵列包括至少一条微通道,所述...
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