下载半导体装置以及电力转换装置的技术资料

文档序号:41127206

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本公开的目的在于提供外周部的可靠性提高的半导体装置。半导体基板包含晶体管和二极管中的至少一方的半导体元件。沟槽栅包含控制半导体元件的状态的电极。沟槽栅设置于半导体基板的上表面。第1非晶质层形成于半导体基板的第1侧面。第2非晶质层形成于半导体...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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