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本公开提供一种套刻标记检查方法及设备，涉及半导体技术领域，包括：分别根据各个标记图案中第一对比区域内的第一标记图形与第二对比区域内的第二标记图形，确定各个标记图案对应的第一检查参数；分别将各个标记图案划分为多个子标记图案，并根据各个标记图案...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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