下载晶体层叠构造体、半导体装置及晶体层叠构造体的制造方法的技术资料

文档序号:41125095

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目的在于提供一种能够提高器件特性的技术。晶体层叠构造体具备具有第1主面的Ga<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;单晶体基板。另外,晶体层叠构造体具备设置于Ga<subgt;2<...
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