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本发明提供一种下电极机构及半导体工艺设备，包括卡盘、分区分配板和多个脉冲生成模块，卡盘的介质层中设置有彼此间隔且绝缘的多个电极片；分区分配板设置在介质层下方，脉冲生成模块设置于分区分配板下方，用于生成脉冲电压信号；分区分配板上设置有分配电路...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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