下载一种籽晶夹头的技术资料

文档序号:41122901

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本技术涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种籽晶夹头,包括安装帽、卡瓣、固定件、第一切槽和第二切槽,卡瓣从安装孔装入安装腔,籽晶安装在卡瓣内,将固定件安装在安装孔内,将固定件与籽晶盘连接,再将籽晶盘安装在卡盘上,放入硅芯炉内进行拉制,拉制完成...
该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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