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本技术涉及一种微射流激光加工耦合装置，包括：壳体、水光耦合核心、石英玻璃透镜和喷嘴；水光耦合核心设置于壳体内，石英玻璃透镜和喷嘴均设置于水光耦合核心内；激光向下射入依次经过石英玻璃透镜、水光耦合核心和喷嘴；水光耦合核心内设置有高压水环路和保...
该专利属于西安晟光硅研半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安晟光硅研半导体科技有限公司授权不得商用。

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