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本发明公开了一种硅电容电极结构及硅电容，硅电容电极结构包括基底以及柱体基元阵列。所述基底具有第一表面；所述柱体基元阵列，形成于所述基底的第一表面上，所述柱体基元阵列包括多组呈周期性分布的柱体基元单元，每组所述柱体基元单元由多个柱体基元排列组...
该专利属于苏州苏纳光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏纳光电有限公司授权不得商用。

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