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飞秒激光制备蓝宝石渐变曲率毛细通道工艺的优化方法技术
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文档序号:41116434
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本发明涉及渐变曲率毛细通道的制备领域,具体而言,涉及飞秒激光制备蓝宝石渐变曲率毛细通道工艺的优化方法。该方法包括:(a)确定优化工艺参数;(b)采用单一变量法,获得优化工艺参数对加工质量的影响规律;建立优化工艺参数和蓝宝石渐变曲率毛细通道质...
该专利属于武汉神剑光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉神剑光电技术有限公司授权不得商用。
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