【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及渐变曲率毛细通道的制备领域，具体而言，涉及飞秒激光制备蓝宝石渐变曲率毛细通道工艺的优化方法。
技术介绍
1、激光等离子体尾波加速是随着超强激光技术、等离子体加速技术的发展而迅速成长起来的一个新型交叉研究方向。它利用超强激光在气体等离子体中激发出的等离子体尾波对带电粒子进行加速的一种新型加速机制，加速过程中等离子体必须被限制在细长的管道内。通过在管道外加电磁场对等离子体运动进行调控，形成稳定等离子体分布，进而实现对带电粒子的加速。现有的级联加速方案电子捕获效率仅为3.5％，且存在加速结构复杂、电子在各级加速器间传递困难等问题。为解决这些问题，上海交通大学强场团队提出激光插入式级联方案，即保持电子束在直通道中运行，使用渐变弯曲等离子体通道将后级驱动激光稳定导引到直通道中，极大地减小了级联加速的规模、简化了加速过程。
2、高质量渐变曲率毛细通道的加工制备，是提高电子束捕获率的关键。该通道的工艺参数优化具有很多挑战，比如如何在满足深度要求的情况下提高圆度，获得高表面质量，高定位精度，以及高边缘加工精度。
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【技术保护点】
1.飞秒激光制备蓝宝石渐变曲率毛细通道工艺的优化方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，所述优化工艺参数包括：激光功率、脉冲数和点密度。
3.根据权利要求2所述的优化方法，其特征在于，所述回归模型如下所示：
4.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，采用飞秒激光进行所述初加工：
5.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，进行所述初加工时，采用分层加工的方式进行三维加工，以线性填充的方式实现平面加工；
6.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，所述后处理具体包...
【技术特征摘要】
1.飞秒激光制备蓝宝石渐变曲率毛细通道工艺的优化方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，所述优化工艺参数包括：激光功率、脉冲数和点密度。
3.根据权利要求2所述的优化方法，其特征在于，所述回归模型如下所示：
4.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，采用飞秒激光进行所述初加工：
5.根据权利要求1所述的优化方法，其特征在于，进行所述初加工时，采用分层加工的方式进行三维加工，以线性填充的方式实现平面加工；
6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹强，张紫阳，李协林，李芳兰，
申请(专利权)人：武汉神剑光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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