下载一种低温激活的大容量吸气薄膜及其生产工艺的技术资料

文档序号:41112897

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本发明公开了一种大容量吸气薄膜,包括吸气层,所述吸气层中均匀混合有添加物质,所述添加物质是由钙酰亚胺、镍和稀土混合而成,所述吸气层包括有基底,所述吸气层的材质为钛钡合金薄膜,所述钛钡合金薄膜是通过钛原子、钡原子在基底表面沉积所产生的膜,所述...
该专利属于南京华东电子真空材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京华东电子真空材料有限公司授权不得商用。

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