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本申请公开了一种均匀破空的真空镀膜设备，包括：真空室，具有顶壁和相对的两个侧壁，侧壁上设置有待镀膜工件的进出口；破空管路，包括从所述顶部竖直向下延伸的主气管以及沿着所述侧壁向下延伸的支气管，所述主气管的两侧设置有第一水平延伸管，所述支气管背...
该专利属于安徽越好电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽越好电子装备有限公司授权不得商用。

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