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本发明提供一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，包括以下步骤：采集被测谐振压力传感器在不同的工作温度点T<subgt;i</subgt;，及其对应的量程范围内不同压力点P<subgt;j</subgt;下...
该专利属于北京遥测技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京遥测技术研究所授权不得商用。

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