一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法技术

本发明专利技术提供一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，包括以下步骤：采集被测谐振压力传感器在不同的工作温度点T<subgt;i</subgt;，及其对应的量程范围内不同压力点P<subgt;j</subgt;下的测压频率数据X<subgt;ij</subgt;与测温电压数据Y<subgt;ij</subgt;；将谐振压力传感器的测压频率数据X<subgt;ij</subgt;与测温电压数据Y<subgt;ij</subgt;分别进行归一化处理，得到x<subgt;ij</subgt;与y<subgt;ij</subgt;；将被测谐振压力传感器所处环境的标准压力源输出压力P<subgt;j</subgt;、与P<subgt;j</subgt;对应的x<subgt;ij</subgt;和y<subgt;ij</subgt;制作三维数据矩阵表，带入全温区补偿算法模型，进行三维曲面拟合计算得到全温区补偿算法模型所有系数K<subgt;mn</subgt;。与传统补偿算法相比，本发明专利技术对谐振压力传感器原始输出数据进行归一化处理后，降低了补偿算法中数据计算的复杂性，提高了补偿算法数据计算精度，在谐振压力传感器整个工作温度区间内都具有更好的补偿效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量测试，具体涉及一种mems高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法。

技术介绍

1、谐振压力传感器具有高精度、高分辨率、高长期稳定性等优点，被广泛应用于航空航天、气象监测和工业控制等领域。

2、由于谐振压力传感器工作温区较宽，温度漂移是目前高精度谐振压力传感器面临的关键问题，温度误差的引入直接影响谐振压力传感器测量的精度，因此需要温度补偿来降低温度变化对谐振压力传感器精度的影响。

3、温度补偿的方式通常分为硬件补偿与软件补偿。硬件补偿一般是在谐振压力传感器芯体中添加温度补偿结构来减弱温度漂移的影响，硬件补偿时效性高，但在结构设计上难度大，不够灵活。

4、软件补偿具有灵活性高、设计难度小等优点，可以在硬件补偿的基础上进一步提升补偿效果。对于谐振压力传感器来说，软件补偿通常使用频率、温度与气压的数据组成数据矩阵表，并通过适当的算法来进行温度补偿。

5、软件补偿的核心是补偿算法，针对高精度谐振压力传感器，补偿算法的数据处理过程、拟合公式的阶数等都需要特别设计。现有的高精度谐振压力传感器补偿算法在数据处本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：步骤S3中，所述测压频率数据Xij的归一化处理方法为以下任意一种：

3.根据权利要求2所述的一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：X1'为Xij的平均数或者最大值或者最小值或者最大值与最小值的平均数或者总体标准差或者样本标准差。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：X1'与Xij之间的关联方式为以下任意一种：...

【技术特征摘要】

1.一种mems高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种mems高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：步骤s3中，所述测压频率数据xij的归一化处理方法为以下任意一种：

3.根据权利要求2所述的一种mems高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：x1'为xij的平均数或者最大值或者最小值或者最大值与最小值的平均数或者总体标准差或者样本标准差。

4.根据权利要求3所述的一种mems高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：x1'与xij之间的关联方式为以下任意一种：

5.根据权利要求2所述的一种mems高精度谐振式压力传感器全温区补偿方法，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的一种mems高精度谐...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈家林，焦海龙，杨挺，韩东祥，陈昱璠，杨丹，陈春明，王晓宇，何笑，
申请(专利权)人：北京遥测技术研究所，
类型：发明
国别省市：