温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种集成光电子器件蚀刻装置，包括筒体，所述筒体的内侧底部中心安装有可转动的轴承杆，所述轴承杆的外壁套接有套杆，所述套杆的外壁等距安装有固定板，相邻的所述固定板之间均等距安装有弧形板，所述固定板的顶部圆周阵列有壳体，所述固定板的底...
该专利属于安徽拓扑仪器设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽拓扑仪器设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。