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本发明属于热释电线列器件的设计及微细加工领域，具体为一种单晶热释电薄膜多元红外传感器件的信号引出方法。本发明采用NiCr合金作为上电极和吸收层，将用于研究界面结构、材料分析的FIB聚焦离子束技术首次用于多元红外传感器件的底电极信号引出，通过...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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