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本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该方法包括以下步骤：获取入射光的光信号强度和反射光的光信号强度；将入射光的光信号强度转换为第一电压测量值，将反射光的光信号强度转换为第二电压测量值；分别对第一电压测量值和第二电压测量值进行卡尔曼滤波处理...
该专利属于上海传芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海传芯半导体有限公司授权不得商用。

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