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本发明公开了一种芯片外观缺陷检测方法及检测装置，该方法包括根据标准芯片生成数字态芯片；获取待测芯片的被扫描路径及被扫描速度；在芯片虚拟扫描模块中调整数字态芯片的形态与移动速度；同步获取待测芯片与数字态芯片的外观线数据；实时比对分析待测芯片与...
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