下载用于有源组件的隔离结构的技术资料

文档序号:41098814

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一种半导体装置,其包括:具有第一导电性类型的基板,所述基板具有顶部表面和底部表面;第一埋层,其在所述基板中安置于距所述顶部表面第一深度处,其中所述第一埋层具有第二导电性类型和第一掺杂浓度;第二埋层,其在所述第一深度处邻近于且包围所述第一埋层...
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