下载一种倒装磷化铝镓铟发光二极管的制作方法的技术资料

文档序号:4109614

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本发明公开的一种倒装磷化铝镓铟发光二极管的制作方法,在一暂时基板上依次外延生长由缓冲层、截止层、第二导电型欧姆接触层、第二导电型限制层、有源层、第一导电型限制层和第一导电型窗口层构成外延发光层;外延发光层上生长一介质层,定义出切割道图形并蚀...
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