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本公开涉及一种测量外延层厚度的方法、系统及存储介质，该方法包括以下步骤：S1：获取至少三个数据点，所述至少三个数据点用于表征外延层厚度测量干涉图谱的侧突峰；S2：利用所述至少三个数据点拟合出表征所述侧突峰的二次函数；S3：计算所述二次函数的...
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