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本发明公开了一种等离子体刻蚀设备、介质窗加热装置及系统，本发明中加热元件通过导热体包裹，一方面加热元件的热量可以通过与介质窗直接接触的下层导热体直接传递热量于介质窗，另一方面加热元件的部分热量经位于背离介质窗一侧的上层导热体散发，这样加热元...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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