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本技术公开了一种薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括：第一支撑层位于第二边缘区的部分包括第一支撑部和第一悬浮部，第一悬浮部包括第一凹陷部、第一凸出部和第二凹陷部，第一支撑层位于第一边缘区的部分包括第二凸出部，第一支撑部与衬底接触，第一凹陷...
该专利属于迈感微电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈感微电子（上海）有限公司授权不得商用。

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