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本公开涉及微机械压力换能器、换能器阵列和微机电装置。一种微机械压力换能器，包括：固定体，其横向界定主腔体；传导结构，其悬置在主腔体上并包括至少一对可变形结构和可移动区域，可移动区域通过可变形结构机械耦合到固定体。每个可变形结构包括：支撑结构...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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