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本技术属于半导体加工技术领域，公开了一种工件清洗装置。该工件清洗装置包括转轴、夹持机构、冲洗机构、刷洗组件以及吹干组件，夹持机构包括承载架以及沿周向均匀设置在承载架上的至少三个夹持组件，承载架设置在转轴上，转轴能够带动承载架转动；夹持组件能...
该专利属于宁波芯丰精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波芯丰精密科技有限公司授权不得商用。

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