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本公开说明基板处理装置和基板处理方法，能够提高处理液的供给系统的清洁度。基板处理装置具备：贮存部，其构成为暂时贮存对基板进行处理的处理液；补充部，其构成为向贮存部补充处理液；流量测定部，其构成为测定向贮存部补充的处理液的流量；气体供给部，其...
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