下载一种高压LED芯片制备方法及高压LED芯片的技术资料

文档序号:41086886

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高压LED芯片制备方法及高压LED芯片,其中芯片制备方法包括:在衬底上外延生长外延层;由P型半导体层向衬底方向刻蚀直至暴露N型半导体层,以形成N型台面和P型台面;在外延层上涂布正性光刻胶并依次进行软烤、曝光、显影、第一次硬烤...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。