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本技术公开了一种晶圆背面滚轮清洗装置，包括镜像对称设置的晶圆夹持旋转机构，镜像对称设置的晶圆夹持旋转机构之间设置有升降机构，晶圆夹持旋转机构包括对称设置的四个旋转电机，且四个旋转电机每两个为一组对应设置，四个旋转电机顶部均设有转动轮，转动轮...
该专利属于争丰半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过争丰半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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