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本公开涉及曝光方法、曝光装置、以及物品的制造方法。一种曝光方法，包括：第1层曝光工序，一边在扫描方向上扫描原版和基板的相对位置一边将原版的图案向基板上的第1层曝光；以及第2层曝光工序，一边在扫描方向上扫描所述相对位置一边将原版的图案向第1层...
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