专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
胜高股份有限公司
>
单晶硅的制造方法及硅晶片的制造方法技术
>技术资料下载
下载单晶硅的制造方法及硅晶片的制造方法的技术资料
文档序号:41073300
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的单晶硅的制造方法具有:电阻值设定工序(S2),设定作为第1电力供给部的电阻值的第1电阻值以及作为第2电力供给部的电阻值的第2电阻值;硅熔体加热工序(S3),在无磁场状态下加热石英坩埚内的硅熔体;水平磁场施加工序(S4),对石英坩埚内...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。