下载单晶硅的制造方法及硅晶片的制造方法的技术资料

文档序号:41073300

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本发明的单晶硅的制造方法具有:电阻值设定工序(S2),设定作为第1电力供给部的电阻值的第1电阻值以及作为第2电力供给部的电阻值的第2电阻值;硅熔体加热工序(S3),在无磁场状态下加热石英坩埚内的硅熔体;水平磁场施加工序(S4),对石英坩埚内...
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