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处理液的检定方法及处理液的制造方法技术
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文档序号:41073281
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本发明的课题在于提供一种处理液的检定方法,其判定在用作显影液或冲洗液时,是否为能够形成抑制了线宽的不均的抗蚀剂图案的处理液。本发明的课题还在于提供一种处理液的制造方法。本发明的处理液的检定方法是一种含脂肪族烃系溶剂的处理液的检定方法,其具有...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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