下载一种沉淀金属薄膜的方法及量子芯片的技术资料

文档序号:41071672

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本申请公开了一种沉淀金属薄膜的方法及量子芯片。该方法是在基底上沉积半导体薄膜,基于目标基础图案对沉积的半导体薄膜进行刻蚀,获得基础层;对基础层进行旋涂作业,以形成有预设厚度的负胶;对负胶进行紫外曝光或激光直写、显影,以在非结结构区域形成负胶...
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