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本公开涉及一种晶圆应力检测保持装置及晶圆应力检测设备，其包括周缘保持机构，其构造成在第一状态和第二状态之间切换，在第一状态中，周缘保持机构与晶圆的周缘接触以保持晶圆，在第二状态中，周缘保持机构远离周缘以不影响周缘的检测；以及中心保持机构，其...
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