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一种版图缺陷检测方法、系统、设备及存储介质技术方案
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文档序号:41063945
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本发明涉及图像检测技术领域,特别涉及一种版图缺陷检测方法、系统、设备及存储介质。所述版图缺陷检测方法包括:获取坏点图形,将坏点图形简化为坏点SDF矩阵;基于坏点SDF矩阵对坏点图形进行分类,建立坏点数据库;获取待测版图上的候选匹配图形;计算...
该专利属于深圳晶源信息技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳晶源信息技术有限公司授权不得商用。
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