下载一种版图缺陷检测方法、系统、设备及存储介质的技术资料

文档序号:41063945

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及图像检测技术领域,特别涉及一种版图缺陷检测方法、系统、设备及存储介质。所述版图缺陷检测方法包括:获取坏点图形,将坏点图形简化为坏点SDF矩阵;基于坏点SDF矩阵对坏点图形进行分类,建立坏点数据库;获取待测版图上的候选匹配图形;计算...
该专利属于深圳晶源信息技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳晶源信息技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。