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本发明公开了一种封装结构、设备以及其形成方法。封装结构包括壳盖以及设置在壳盖内的单元。单元包括振膜、致动层与锚定结构。振膜包括第一振膜子部与第二振膜子部，其中第一振膜子部与第二振膜子部在俯视上彼此相对。致动层在俯视方向上设置在第一振膜子部与...
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