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本发明公开一种光传感器,其包括感测结构和微透镜。感测结构包括外延层、深沟槽隔离和散射结构。外延层有受照表面和非受照表面。深沟槽隔离位于外延层的边缘。散射结构嵌入在外延层中,并从受照表面向内延伸。散射结构包括第一圆环图案和周边图案。深沟槽隔离...该专利属于力晶积成电子制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶积成电子制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种光传感器,其包括感测结构和微透镜。感测结构包括外延层、深沟槽隔离和散射结构。外延层有受照表面和非受照表面。深沟槽隔离位于外延层的边缘。散射结构嵌入在外延层中,并从受照表面向内延伸。散射结构包括第一圆环图案和周边图案。深沟槽隔离...