下载防护膜组件、曝光原版、曝光装置和防护膜组件的制造方法的技术资料

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一种防护膜组件,其具备防护膜组件框、防护膜以及粘着层。粘着层的内壁面和外壁面的至少一者满足下述式(1)。式(1):([A<subgt;2s</subgt;]/[A<subgt;50s</subgt;])≤0.97。式...
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