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本发明公开一种基于输出电荷反馈的压电致动器位移校正装置和方法，主要由信号发生器、信号修正模块、电荷放大器、压电致动器及输出电荷采集模块组成。本发明在电荷驱动压电致动器回路中串联电容来采集放大器输出电荷，并将其转换为对应等效电压值，该电压作为...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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