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本技术给出了一种超低温半导体晶圆冷却设备的冷却回路；超低温半导体晶圆冷却设备包括高效压缩机、冷凝器、四级自复叠制冷系统和高真空超低温半导体晶圆快速冷却平台，高效压缩机通过高温高密输送管道与冷凝器连通，冷凝器通过低温高密输送管道与四级自复叠制...
该专利属于普乐（合肥）光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普乐（合肥）光技术有限公司授权不得商用。

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