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本技术涉及一种晶圆预对准机，包括固定底板，固定底板上连接有箱体，箱体上连接有上固定板，上固定板的一侧开设有调心孔，调心孔内连接有在调心孔内水平移动的用于吸附晶圆的吸盘，箱体内连接有旋转电机，旋转电机的驱动轴与吸盘的中心相驱动连接，箱体内连接...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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