下载一种磁控溅射镀膜设备的技术资料

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本技术属于磁控溅射技术领域,尤其是一种磁控溅射镀膜设备,针对现有磁控把做圆周运动时,只通过活动块与滑块转动连接带动整个旋转装置进行工作,在长时间使用时,容易导致滑块和活动块连接处受损,容易造成两者分离,或者滑块无法移动,使得磁控把无法调整圆...
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