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本技术公开一种离子产生装置的检查工具，用于离子产生装置的装配检查，包括：圆环部、连接件和检测板；所述圆环部具有中心孔，所述中心孔至少一端形成开口端，所述圆环部与待检测的第一间隔相适配；所述检测板通过连接件固定设置于所述圆环部上，所述检测板与...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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