【技术实现步骤摘要】
本技术涉及离子产生装置，具体涉及一种离子产生装置的检查工具。
技术介绍
1、离子产生装置(即离子发生装置)，是用于产生各种离子的设备，在实验室中广泛使用，现有离子产生装置的器件在安装时，大多未经过检查工具进行检查，安装完成后，无法确定判断器件之间的距离是否合适，从而导致离子产生装置安装不合格，在使用时无法正常产生离子，且二次拆装维修增加人力和时间成本。因此，设计一种用于离子产生装置安装的检查工具是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、鉴于此，本技术提供一种离子产生装置的检查工具，以解决离子产生装置在安装完成后，无法确定判断器件之间的距离是否合适的问题。
2、本技术提供的一种离子产生装置的检查工具，用于离子产生装置的装配检查，包括：圆环部、连接件和检测板；
3、所述圆环部具有中心孔，所述中心孔至少一端形成开口端，所述圆环部与待检测的第一间隔相适配；
4、所述检测板通过连接件固定设置于所述圆环部上，所述检测板与待检测的第二间隔相适配。
...【技术保护点】
1.一种离子产生装置的检查工具，用于离子产生装置的装配检查，其特征在于，包括：圆环部、连接件和检测板；
2.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述第一间隔形成于所述离子产生装置的前反射板的圆筒部与前盖板之间。
3.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述第二间隔形成于所述离子产生装置的灯丝与阴极之间。
4.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述第二间隔形成于所述离子产生装置中两个离子源和电弧室对应侧的盖板之间。
5.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具...
【技术特征摘要】
1.一种离子产生装置的检查工具，用于离子产生装置的装配检查，其特征在于，包括：圆环部、连接件和检测板；
2.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述第一间隔形成于所述离子产生装置的前反射板的圆筒部与前盖板之间。
3.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述第二间隔形成于所述离子产生装置的灯丝与阴极之间。
4.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述第二间隔形成于所述离子产生装置中两个离子源和电弧室对应侧的盖板之间。
5.根据权利要求1所述的离子产生装置的检查工具，其特征在于，所述中心孔的一端形成开口端，另一端固连底板形成封闭端。
6.根据权利要求5所述的离子产生装置的检查工...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪佳楠，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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