下载一种磁控溅射镀膜机的技术资料

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本技术公开了一种磁控溅射镀膜机,包括机柜,所述的机柜的内部上端安装有真空仓,且真空仓的内侧底部设有固定环,同时固定环的内部设有驱动盘;所述的驱动盘的内部安装有驱动件,且驱动件关于驱动盘的竖直轴心线呈等角度设有若干个;每个所述的驱动件的顶端均...
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