温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种磁控溅射镀膜机,包括机柜,所述的机柜的内部上端安装有真空仓,且真空仓的内侧底部设有固定环,同时固定环的内部设有驱动盘;所述的驱动盘的内部安装有驱动件,且驱动件关于驱动盘的竖直轴心线呈等角度设有若干个;每个所述的驱动件的顶端均...该专利属于东莞市春扬真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市春扬真空科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种磁控溅射镀膜机,包括机柜,所述的机柜的内部上端安装有真空仓,且真空仓的内侧底部设有固定环,同时固定环的内部设有驱动盘;所述的驱动盘的内部安装有驱动件,且驱动件关于驱动盘的竖直轴心线呈等角度设有若干个;每个所述的驱动件的顶端均...