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本技术提供一种晶圆减薄机的厚度检测机构，用于安装在晶圆减薄机上，其特征在于：包括安装架、Z轴驱动装置、连接架、吹气装置和两组厚度检测探针；所述Z轴驱动装置安装在安装架上且动力输出端与连接架连接；所述吹气装置与两组厚度检测探针分别安装在连接架...
该专利属于东莞金研精密研磨机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞金研精密研磨机械制造有限公司授权不得商用。

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