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提供了光掩模检查设备。光掩模检查设备包括：支承检查衬底的台；具有第一数值孔径并且设置在检查衬底的一侧处的第一光学系统；具有第二数值孔径、与第一光学系统间隔开并且设置在检查衬底的一侧处的第二光学系统；包括第一物镜、第二物镜，并且设置在检查衬底...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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