温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种晶圆清洗机用晶圆夹持机构，包括晶圆夹持基盘、晶圆夹持转座、晶圆夹持承托座，涉及晶圆夹持设备技术领域。本技术通过设置有晶圆夹持转座且晶圆夹持转座的一侧与晶圆夹持承托座固定连接、另一侧与晶圆夹持基盘转动连接，在使用晶圆清洗机进行...
该专利属于武汉精奕芯设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉精奕芯设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。