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本申请涉及晶片生产领域，一种晶片腐蚀装置包括设备箱、安装机构、晶片篮、升降机构、旋转机构和锁定机构，设备箱包括箱体和箱门，箱体设有容纳槽，箱门连接于箱体并遮盖容纳槽槽口，升降机构连接于箱体，升降机构用于驱使旋转机构沿竖向滑动，旋转机构用于驱...
该专利属于浙江雅晶电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江雅晶电子有限公司授权不得商用。

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