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本公开提供了一种外延晶圆的线性缺陷检测方法、装置及存储介质；该方法包括：从待测外延晶圆表面的激光粒子扫描图像中获取所述待测外延晶圆表面的缺陷图像；根据所述缺陷图像中所呈现的缺陷角度、长度以及图像放大比例从所述激光粒子扫描图像中确定所述待测外...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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