温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及ALD设备温度控制技术领域，具体为一种基于权重分配和PID算法的ALD设备温度控制方法，包括以下步骤：S1、通过加热棒布置实现输出层的权重分配；S2、通过函数计算实现反馈层的权重分配；S3、PID控制层运用经过温区权重再分配后的区...
该专利属于艾华（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾华（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。